
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=iso-8859-1">

</head>

<body>

<div>Simple question:</div>

<div><br>

</div>

<div>Is it necessary to locate an HMDS oven in an amber light space as part of a lithography tool set? Could it not be located in a white light area directly adjacent an amber light space?</div>

<div><br>

</div>

<div>-Michael.</div>

</body>

</html>