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Hello LabNetwork,</div>

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We have a few plasma etchers in our university cleanroom. In the chambers, we have alumina and Al parts to clean.</div>

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How often do you clean your chambers? </div>

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What indicator tells you it is time to clean?</div>

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What method do you use (plasma cleaning, mechanical, chemical...)?</div>

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Thank you.</div>

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<div id="Signature">

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<p style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;">

<span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 14pt; color: rgb(36, 36, 36);"><b>Philippe Mérel

<i>PhD</i></b></span></p>

<p style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: white; margin: 0px;">

<span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(36, 36, 36);">Coordonnateur

</span><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; color: black;">Laboratoire de Nanofabrication et de Nanocaractérisation</span><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(36, 36, 36);"> (LNN)</span></p>

<p style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: white; margin: 0px;">

<span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(36, 36, 36);">Institut Interdisciplinaire d’Innovation Technologique – 3iT</span></p>

<p style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: white; margin: 0px;">

<span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(36, 36, 36);"><b>Université de Sherbrooke</b></span></p>

<p style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: white; margin: 0px;">

<span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(36, 36, 36);"><br>

<a style="margin: 0px;" originalsrc="https://www.usherbrooke.ca/3it/" rel="noopener noreferrer" title="URL d'origine : https://www.usherbrooke.ca/3it/. Cliquez ou appuyez si vous faites confiance à ce lien." target="_blank" href="https://www.usherbrooke.ca/3it/">https://www.usherbrooke.ca/3it/</a></span></p>

<p style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: white; margin: 0px;">

<span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(36, 36, 36);"><img style="width: 150.26pt; height: 51.33pt; max-width: 780px; min-width: auto; min-height: auto; margin: 0px;" height="68" width="200" id="x_x_Picture_x0020_1" data-outlook-trace="F:1|T:1" src="cid:6d209adb-c52d-463f-8c27-055c0d5a2295"></span></p>

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