<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=utf-8">

</head>

<body style="overflow-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;">

Hi All,

<div><br>

</div>

<div>I’m exploring approaches to print 360 nm circles with 460 nm hex pitch for lifting off ~100 nm of Cr/Au. We can do it with EBL, but we want to scale. Can this be done with a stepper? Does anyone have experience with the PhableR Talbot lithography system?</div>

<div><br>

</div>

<div>Thanks,</div>

<div>Long Chang</div>

<div>

<div dir="auto" style="overflow-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;">

<div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">

Research Professor, ECE<br>

Manager,<span class="Apple-converted-space"> </span>UH Nanofabrication Facility (UHNF)<br>

University of Houston<br>

713-743-5235<br>

nanofab.uh.edu</div>

</div>

</div>

<br>

</body>

</html>