<div dir="ltr"><div dir="ltr">Hi Joseph,<div><br></div><div>I am not familiar with depositing In, but I might suggest using one of those boats that have a cover with a small hole on the top. This might help in keeping some undesired splatter, at the very least away from the rest of your chamber. For other materials that tend to splatter a slower ramp and multiple soaks can help liberate gases that are trapped  and tend to have violent ebullition. That might be another thing to try.</div><div><br></div><div>Cheers,</div><div><br></div><div>Carlos </div></div><br><div class="gmail_quote gmail_quote_container"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Wed, Apr 15, 2026 at 12:06 PM Joseph E. Palmer <<a href="mailto:jpalmer@exchange.princeton.edu">jpalmer@exchange.princeton.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">Hello all,<br>
<br>
I’m reaching out for advice on mitigating spitting during thermal <br>
evaporation of indium.<br>
<br>
We are evaporating In from a resistively heated crucible setup (Mo <br>
crucible with a surrounding resistive heater), targeting deposition <br>
rates of ~30 Å/s for bump-bonding applications. Our typical run pressure <br>
is ~1×10⁻⁵ Torr.<br>
<br>
We perform a pre-melt with a slow ramp, but are still seeing <br>
intermittent spitting during deposition, leading to particulates and <br>
film defects.<br>
<br>
At this point, I’m trying to better understand the dominant mechanism <br>
(e.g., oxide skin rupture, trapped gas, or localized overheating) and <br>
what process changes are most effective in suppressing it.<br>
<br>
If anyone has experience with indium evaporation and would be willing to <br>
share insights or discuss offline, I would greatly appreciate it.<br>
<br>
Thank you in advance,<br>
<br>
-- <br>
Joseph E. Palmer<br>
Chief of Operations for the MNFC<br>
PMI, Princeton University<br>
Contact:<br>
Office: 609-258-4706<br>
Cell: 609-731-8962<br>
<br>
<br>
<br>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank" class="docs-creator">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank" class="docs-creator">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><div><br clear="all"></div><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr">Carlos Gramajo<div>Cleanroom Research Scientist</div><div>Shared Equipment Authority (SEA), Rice University</div><div>Cell: 713-470-8115; Office: 713-348-8243; <a href="mailto:cg70@rice.edu" target="_blank" class="docs-creator">cg70@rice.edu</a></div></div></div></div>