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<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>

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<body dir="ltr">

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Hi, Mario,</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div class="elementToProof" style="margin-top: 1em; margin-bottom: 1em; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Ours is a fairly old system as well (PHI 5400). You can control the sputtering rate by adjusting the background pressure, beam voltage, and ion beam current.</div>

<div class="elementToProof" style="margin-top: 1em; margin-bottom: 1em; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

We typically backfill the chamber with argon to around (10^{-7}) mbar. The beam voltage can range from 1 kV to 5 kV.</div>

<div class="elementToProof" style="margin-top: 1em; margin-bottom: 1em; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

RBD Instruments used to provide free manuals and “how-to” documents, which may still be useful resources.</div>

<div class="elementToProof" style="margin-top: 1em; margin-bottom: 1em; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

If you have any questions, feel free to send me a private email. We can also discuss it over Zoom, if you prefer.</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Best</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Nuri</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

 </div>

<div id="Signature" class="elementToProof">

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<p class="elementToProof" style="margin: 0in; font-family: Aptos, sans-serif; font-size: 11pt;">

<span style="font-size: 12pt;">Professor Nuri Oncel, Ph.D.</span></p>

<p class="elementToProof" style="margin: 0in; font-family: Aptos, sans-serif; font-size: 11pt;">

<span style="font-size: 12pt; color: blue;"><a href="https://www.und.edu/Nanofoundry" id="OWA5669be5c-9356-137b-13b5-da1e178efcda" class="OWAAutoLink" style="color: blue; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;"><u>Director of UND-NanoFoundry</u></a></span></p>

<p class="elementToProof" style="margin: 0in; font-family: Aptos, sans-serif; font-size: 11pt;">

<span style="font-size: 12pt;">Department of Physics and Astrophysics</span></p>

<p class="elementToProof" style="margin: 0in; font-family: Aptos, sans-serif; font-size: 11pt;">

<span style="font-size: 12pt;">University of North Dakota</span></p>

<p class="elementToProof" style="margin: 0in; font-family: Aptos, sans-serif; font-size: 12pt;">

<span style="color: blue;"><a href="https://sites.google.com/view/oncel-research-group/group" id="OWA3f49868a-8891-9fca-d06e-2fa8cd94bbfc" class="OWAAutoLink" style="color: blue; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;"><u>https://sites.google.com/view/oncel-research-group/group</u></a></span><span style="color: black;"> </span></p>

<p class="elementToProof" style="margin: 0in; font-family: Aptos, sans-serif; font-size: 12pt;">

 </p>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<hr style="display: inline-block; width: 98%;">

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<b>From:</b> labnetwork <labnetwork-bounces@mtl.mit.edu> on behalf of Mark Hofheins <mhofheins@unm.edu><br>

<b>Sent:</b> Wednesday, May 27, 2026 8:20 AM<br>

<b>To:</b> Beaudoin, Mario <beaudoin@physics.ubc.ca>; 'labnetwork@mtl.mit.edu' <labnetwork@mtl.mit.edu><br>

<b>Subject:</b> Re: [labnetwork] Sputter conditions for XPS samples? </div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Good Morning Mario,</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

We will flow 13sccms to 20sccms of Ar during our sputter.</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Optimum vacuum pressure for us is 3 millitorr.</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Power will depend on what type of material the target is made of and </div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

How much deposition you require/per time.</div>

<div id="x_Signature">

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Best regards,</div>

<div id="x_divtagdefaultwrapper" style="background-color: rgb(255, 255, 255);">

<p style="direction: ltr; line-height: normal; background-color: white; margin: 0in 0in 8pt;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 12pt; color: black;">Mark Hofheins</span></p>

<p style="direction: ltr; margin: 0in 0in 8pt; font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt;">

<span style="font-family: "Arial Black", Arial, sans-serif; font-size: 8pt; color: black; background-color: white;"><sup><b><br>

</b></sup></span></p>

<div style="direction: ltr; font-family: Calibri; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<p style="direction: ltr; line-height: normal; background-color: white; margin: 0in 0in 8pt;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 12pt; color: rgb(5, 99, 193);"><a href="mailto:mhofheins@unm.edu" id="OWAf0cc8c07-d34a-8af3-e42f-05a6a93b8370" class="x_OWAAutoLink" style="color: rgb(5, 99, 193); margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">mhofheins@unm.edu</a></span></p>

<p style="direction: ltr; line-height: normal; background-color: white; margin: 0in 0in 8pt;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 12pt; color: black;">Cell  505-259-9278</span></p>

<p style="direction: ltr; line-height: normal; background-color: white; margin: 0in 0in 8pt;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">Office 505-272-7506</span></p>

<p style="direction: ltr; line-height: normal; background-color: white; margin: 0in 0in 8pt;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 12pt; color: black;"> </span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">Micro Electronics Technician &</span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);"> Safety Coordinator

</span><span style="font-family: Calibri; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">MTTC</span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">Manufacturing Engineering/ </span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">School of Engineering </span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">Science and Technology park</span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">University of New Mexico </span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">800 Bradbury S.E.  Suit 169</span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">Albuquerque, New Mexico</span></p>

<p style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;">

<span style="font-family: Calibri; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">87106-4346</span></p>

<p style="direction: ltr; line-height: normal; background-color: white; margin: 0in 0in 8pt;">

<span style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);"><br>

</span></p>

</div>

</div>

<hr style="direction: ltr; display: inline-block; width: 98%;">

<div id="x_divRplyFwdMsg">

<div style="direction: ltr; font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<b>From:</b> labnetwork <labnetwork-bounces@mtl.mit.edu> on behalf of Beaudoin, Mario <beaudoin@physics.ubc.ca><br>

<b>Sent:</b> Tuesday, May 26, 2026 5:57 PM<br>

<b>To:</b> 'labnetwork@mtl.mit.edu' <labnetwork@mtl.mit.edu><br>

<b>Subject:</b> [labnetwork] Sputter conditions for XPS samples?</div>

<div style="direction: ltr;"> </div>

</div>

<p style="direction: ltr; line-height: 12pt; background-color: rgb(255, 102, 102); margin-top: 1em; margin-bottom: 1em;">

<span style="font-size: 10pt; color: white;"><b>  [EXTERNAL]</b></span></p>

<p style="direction: ltr; margin-top: 1em; margin-bottom: 1em;">Dear Network,</p>

<p style="direction: ltr; margin-top: 1em; margin-bottom: 1em;">We have inherited an old XPS machine.  The XPS part works fine and we know how to acquire data.  For analysis, we will certainly consult experts before publishing as we are aware of the potential

 pitfalls.  </p>

<p style="direction: ltr; margin-top: 1em; margin-bottom: 1em;">We also have an Argon source and sputter power supply and we would like to sputter our sample surfaces to remove surface contaminants.  The problem: we are neophytes at that part of the process

 besides operating the cylinder and leak valve.</p>

<p style="direction: ltr; margin-top: 1em; margin-bottom: 1em;">My question: What are the typical Ar pressures and power settings generally used for sputtering?</p>

<p style="direction: ltr; margin-top: 1em; margin-bottom: 1em;">Please respond privately or through the network.</p>

<p style="direction: ltr; margin-top: 1em; margin-bottom: 1em;">Big THANK YOU.</p>

<p style="direction: ltr; margin-top: 1em; margin-bottom: 1em;">Mario</p>

<div style="direction: ltr;">--<br>

<img data-outlook-trace="F:2|T:2" src="cid:f51feeb8-c7b8-440f-ae57-8b2c7d8947fe"></div>

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