<div dir="auto">Hello All,<div dir="auto"><br></div><div dir="auto">We currently use Karl Suss MA6 for lithography on the backside of 4" InP wafers. It is critical that we have good back to front side alignment, and right now we can only use the MA6 to verify alignment. </div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Unfortunately there is no scale/camera options for outputting to get quantative data from our alignment.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">We are looking for a bench top tool/microscope that would allow us to check alignment after development so that we are getting higher resolution and more quantative results. Does anyone have any recommendations?</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Thanks,</div><div dir="auto">Jeff McKay</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Process Engineer</div><div dir="auto">Global Communications Semiconductor </div><div dir="auto">Torrance, CA</div></div>