<div dir="ltr"><div>Hello All,</div><div><br></div><div>We are in the process of rebuilding our LPCVD nitride tube furnace, and could use some advice on the best way to remove deposited nitride film the our throttle valve and vacuum flange, both of which are made of stainless steel. Physical cleaning does not work very well, and the only stuff I can find on-line mentions hot phosphoric or some type of BOE etching which I'm afraid will eat or at least tarnish the metal. We found out the hard way that the throttle valve was stuck closed because the buildup, so having a good cleaning procedure is a necessity.</div><div><br></div><div>I look forward to reading your replies.</div><div><br></div><div>Kyle</div></div>