<div dir="ltr"><div><div dir="auto">Quick follow-up, I probably sent the initial email too quickly.<br><br>Just to clarify, FOx / XR-1541 is discontinued. DuPont ended production at the end of 2025. Krayden declined to quote us this week, and Ellsworth stopped distributing ealier.<br><br>Regarding other sources, here are some possibilities:<br>- DisChem Inc <a href="mailto:info@discheminc.com" target="_blank">info@discheminc.com</a>, mixes HSQ in MIBK at 1-20%<br>- EM Resist Ltd, <a href="mailto:info@emresist.com" target="_blank">info@emresist.com</a>,<br><br>We understand that EPFL's CMi has moved to EM Resist and treats their 22% as a direct FOx-16 replacement, and that Mike Rooks at Yale published a comparison finding DisChem/AQM material equivalent to the Dow product given a 120 C / 2 min post-apply bake. <br><br>So here are some narrow questions: </div><div dir="auto"><br>- Has anyone actually run DisChem or EM Resist HSQ at high resolution?How does it compare on dose, contrast, and lot-to-lot consistency, and did you need to change your process beyond the post-apply bake?<br><br>- Any other routes?</div><div dir="auto"><br>- Also curious whether anyone buys the powder and mixes on demand. Any tips on this would be appreciated.<br><br>Still happy to summarize the responses that come back.<br><br>Thanks,<br>Amir<br><br>--<br>Amir H. Safavi-Naeini<br>Associate Professor<br>Department of Applied Physics<br>Ginzton Laboratory, Stanford University<br></div></div></div><br><div class="gmail_extra"><div>On Tue, Aug 11, 2026 02:01 PM, Amir Safavi-Naeini <<a href="mailto:safavi@stanford.edu" target="_blank">safavi@stanford.edu</a>> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div dir="ltr"><div><div dir="auto">Hi everyone,<br><br>We use HSQ as our high-resolution negative e-beam resist at Stanford, mostly for nanophotonic and quantum devices in lithium niobate and silicon. We've been trying to restock and have not been able to find a current source.<br><br>Two questions:<br><br>1. Where are people buying HSQ these days? FOx-16, FOx-25, XR-1541, or any equivalent formulation. A vendor name and a contact would be enormously helpful. We only need a liter or two every year or two, so we are not a large-volume customer and that may be part of the problem.<br><br>2. If the supply situation is genuinely dead, what are people using instead for high-resolution negative-tone work, and what did you give up in switching?<br><br>For what it's worth, we store ours in LN2, so shelf life isn't our limiting factor we believe... <br><br>Happy to summarize replies back to the list if there's interest.<br><br>Thanks,<br>Amir<br></div></div><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr">Amir H. Safavi-Naeini<br>Associate Professor<br>Department of Applied Physics<br>Ginzton Laboratory, Stanford University<br><br>mail address:<br></div><div dir="ltr"><div dir="ltr">Edward L. Ginzton Laboratory</div><div dir="ltr">348 Via Pueblo Mall, Box 336</div><div dir="ltr">Stanford University</div><div dir="ltr">Stanford, CA  94305-4088</div><div><br></div></div><div dir="ltr">office phone: +1 650 498 7496  [Room 309, Spilker]<br>mobile phone: +1 626 379 3702<br>zoom: <a href="https://stanford.zoom.us/j/4970959839" target="_blank">https://stanford.zoom.us/j/4970959839</a><div><a href="http://www.stanford.edu/~safavi/" target="_blank">http://www.stanford.edu/~safavi/</a><br>-------------------------------------------------</div></div></div></div></div></div>
</blockquote></div></div>