<div dir="ltr"><p class="gmail-isSelectedEnd">Dear LabNetwork Community,</p><p class="gmail-isSelectedEnd">We would like to seek inputs from cleanroom/fab facility managers and process owners regarding an issue observed during <strong>Au deposition in our E-Beam Evaporators</strong>.</p><p class="gmail-isSelectedEnd">We have observed the formation of <strong>black/dark layer on the Au charge after a few melt cycles</strong>. The observation occurs during repeated melting of Au in a tungsten liner/crucible. We are currently investigating whether this could be related to <strong>material surface contamination, crucible/liner condition, outgassing, chamber history, or the Au pre-cleaning/conditioning procedure</strong>.</p><p class="gmail-isSelectedEnd">We would appreciate your experience on the following:</p><ul><li>Have you observed <strong>black/dark spots or a black layer forming on Au during repeated E-beam melting/evaporation</strong>?</li><li>What <strong>Au purity and material form</strong> do you use?</li><li>Do you perform any <strong>cleaning/degreasing of the Au charge before loading</strong>? If yes, what procedure?</li><li>Do you follow a specific <strong>crucible/liner cleaning or replacement procedure</strong>?</li><li><span style="background-color:transparent">If you have identified a </span><strong style="background-color:transparent">root cause or corrective action</strong><span style="background-color:transparent"> for a similar observation, any details would be highly appreciated.</span></li></ul><p>Our objective is to compare practices across facilities and determine whether this is a <strong>material-handling, source/liner, chamber-condition, or process-related phenomenon</strong>.</p><div>Any suggestions/inputs are highly appreciated.</div><div>Thanks in advance!</div><div><br></div><div>Regards,</div><div>CHANDAN H B</div><div>THIN FILMS ENGINEER</div></div>